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更新時間:2024-10-30
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第一代10μm精度設(shè)備明星產(chǎn)品S140系列,搭載創(chuàng)新的PμSL技術(shù),突破精密制造的技術(shù)瓶頸。配備光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)、自動對焦功能,實現(xiàn)±10~25μm高公差控制能力,解決跨尺度微納加工難題,已在國內(nèi)科研高校裝機超過百臺。
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